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MDA-20SA
操作简单，可编程控制器（PLC）操作，PC控制，图像采集和数据记录，100多个程序配方，电动操纵杆控制，电动变焦显微镜和工作台，显微镜位置控制系统
操纵杆控制，半自动
掩模版尺寸规格，用户订制
基板尺寸规格（大面积），用户订制
均匀光束规格，用户订制
紫外线光源：紫外线灯，5 kW
光束波长350~450 nm
光束均匀度<±7%
365 nm强度5 kW: ~45 mW/㎠
对准方法：操纵手柄控制半自动
对准精度1 um
工艺模式：软、硬、真空接触和接近
分辨率：透镜 >3 um，反射镜：>9 um
联系人：张垚
手机：13916855175
电话：021-56035615
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