超高真空系统用于对超薄磁膜和多层电子束蒸发的薄膜沉积进行现场实时磁光克尔效应研究。
系统特点:
磁控溅射仪
超高真空磁控溅射系统
狭缝挤出型涂布机
等离子体增强原子层沉积系
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