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派瑞林真空镀膜机
聚对二甲苯镀膜系统（Parylene Coating System）
派瑞林真空镀膜机
聚对二甲苯镀膜系统（Parylene Coating System）
蒸发器 最高 200°C（最多 10 级）
高温分解 最高 800°C（3 分区加热器）
腔室 内径 200 x 长度 420（mm）
操作 手动和自动
尺寸 宽1600 x 深800 x 高1300（毫米）
蒸发器
单块铝（非焊接，泄漏最小化）
加热器 ： 最高 200 °C
用于隔热的门加热器：最高 200 °C
汽化温度设置：最多 10 步（温度和时间）
裂解器
管材：石英（或铬镍铁合金作为替代品）
火焰炉加热器 ： 最高 800°C
3 x 分区（独立）加热器
温度传感器：2线K型传感器x 3ea（每个加热器的每个传感器）
沉积室
单块铝（非焊接，泄漏最小化）
均匀气流设计（专利第10-1701381号）
腔室尺寸 ： 内径 200 mm × L. 420 mm
样品装载板
旋转器
冷阱
疏水阀方式：直接疏水阀、玻璃冷凝器
最低温度 ： – 80°C
环境温度 ： 5 ~ 30°C
真空
泵：油旋转泵
泵排量：1，000 升/分钟 @ 60Hz
极限压力： 5×10-3 托
控制器
DSP 板载信号控制器
自动/手动操作
交互式集成软件
10.2“ 触摸屏 PC 和 USB 数据传输
保存和加载工艺配方
实时过程图和错误监控
系统尺寸
主机系统 ： 1600×800×1300 （宽×深×高， 毫米）
冷阱 ： 505×620×750 （宽×深×高， 毫米）
真空泵 ： 283×736×360 （宽×深×高， 毫米）
* 尺寸可能根据客户的要求和产品升级而有所不同
联系人：张垚
手机：13916855175
电话：021-56035615
邮箱：info@crosstech.com.cn
地址： 上海市杨浦区松花江路251弄白玉兰环保广场3号902室
